真空度:中度真空
漏率: 1x10-9 mbar l/s, He
使用壽命: 20萬(wàn)次(依制程而有些許改變)
鋁合金閥體。無(wú)波紋管密封。
特色
- 低購(gòu)入成本與維修成本。
- 方便安裝與維修
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真空鋁合金閘閥門(mén)
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